国家标准 GB/T32218一2015 真空技术真空系统漏率测试方法 Vaeuummtechnology一Iestmethodsforleakratesofvaeuusystem 2015-12-10发布 2017-01-01实施国家质量监督检验检疫总局发布国家标准化管理委员会国家标准
GB/T32218一2015 目次前言范围规范性引用文件术语和定义测试原理 4.1氮质谱法真空系统漏率测试原理 4.2静态升压法真空系统漏率测试原理仪器与设备 5.1 检漏仪和检漏系统 5.》标准漏礼 5.3真空计 5.4氮罩 5.5累积阀 5.6测试阀测试条件 6.1测试场地的环境要求 6.2氨复气氮气 6.3 测试程序 7.1测试前准备 7.2复质谱法真空系统漏率测试静态升压法真空系统醋幸测试 7.3 漏率测试中断处理氮质谱漏率测试的中断处理 8.1 静态升压法漏率测试的中断处理 8.2 测试记录与报告测试记录 9.1 9.2测试报告参考文献
GB/T32218一2015 前言本标准按照GB/T1.1一2009给出的规则起草本标准由机械工业联合会提出本标准由全国真空技术标准化技术委员会(SAC/TC18)归口本标准负责起草单位:空间技术研究院兰州空间技术物理研究所本标准参加起草单位:北京卫星环境工程研究所、湖南维格磁流体股份有限公司、安徽皖仪科技股份有限公司、宁波爱发科真空技术有限公司、成都南光机器有限公司台州环球真空设备制造有限公司、上海惠丰石油化工有限公司、沈阳真空技术研究所本标准主要起草人李得天、肖祥正、,陈光奇、王荣宗、陈联,孙立臣、目柴鑫、言继春、黄文平、刘磊、王国东、何小波、范林东、赵计春、赵伟胜、惠泽民、王玲玲 m
GB/T32218一2015 真空技术真空系统漏率测试方法范围本标准规定了利用氮质谱法和升压法对真空系统的漏率进行测试的测试原理、仪器与设备,测试条件、测试程序、漏率测试中断处理、测试记录与测试报告本标准适用于真空系统(以下简称被检件)的漏率测试规范性引用文件下列文件对于本文件的应用是必不可少的凡是注日期的引用文件,仅注日期的版本适用于本文件凡是不注日期的引用文件,其最新版本(包括所有的修改单)适用于本文件 GB/T3163真空技术术语 GB/T3864一2008工业氮 GB/T4844一2011纯氮、,高纯氮和超纯氮 GB/T18193真空技术质谱检漏仪校准术语和定义 GB/T3163界定的以及下列术语和定义适用于本文件 3.1 有效最小可检漏率 tivemimimumdeteetableleakrate eet 被检件与检漏系统连接后,检漏仪和检漏系统在具体的工作条件下,检漏仪所能检出的最小漏孔漏率注:单位为帕立方米每秒(Pam/s) 3.2 累积检漏accummulationleaktest 将被检件抽空后,关闭累积阀与抽气系统隔离当被检件外部施加一定浓度的复气后,如果被检件上有漏孔,在规定的累积时间内由被检件上的漏孔漏出的复气就会累积在被检件内使被检件内的复分压随累积时间而增加在累积时间终了时打开累积阀,用缸质谱检漏仪检测被检件内氨气的分压力,从而计算出被检件总漏率的一种检漏方法注;它是一种用来检测微小漏孔的氮质谱泄漏检测方法 3.3 氢气的浓度 heliumc0ncentration 在混合气体中，氮气分压力与混合气体总压力的比值测试原理氨质谱法真空系统漏率测试原理喷枪或氨罩中的示漏氨气通过漏孔进人被检件内,并被引人检漏仪,引起检漏仪输出指示的变化
GB/T32218一2015 将该变化值与安装在被检件上的标准漏孔在检漏仪上引起的输出指示变化值进行比较,确定真空系统被检件的漏率 4.2静态升压法真空系统漏率测试原理当被检件容积不变且已知时,在静态条件下,测量在一定时间内被检件容积中压力升高值,然后通过计算得到被检件的漏率仪器与设备 5.1检漏仪和检漏系统检漏仪的最小可检漏率,应满足被检件漏率测试要求检漏系统的有效最小可检漏率应不大于被检件允许漏率的1/10 5.2标准漏孔标准漏孔要求如下 a)应选用真空标准漏孔,其标定值应与被检件允许漏率接近; b) 在校准或检定有效期内使用根据漏率测试方法不同,选用不同类型的真空标准漏孔 5.3真空计真空计要求如下 a)真空计的量程应能满足被检件的压力测量范围; b)真空计应在检定或校准有效期内使用 5.4氮罩氨罩应选用对氨渗透系数小的材料制作 5.5累积阀累积阀要求如下 a)能快速开启和关闭; b)关闭后的内漏率不应大于1×10-"Pa m/s 5.6测试阀对静态升压法中使用的测试阀的要求如下 a 能快速关闭; 能耐高温烘烤,降低阀门的出气速率; b 关闭后的内漏率不应大于1×10-"Pa”m'/s c 测试条件测试场地的环境要求测试场地的环境要求如下
GB/T32218一2015 a环境温度:30一16C; b 相对湿度<80%; c 无强磁场干扰,无剧烈振动,无腐蚀性气体 d)环境通风良好 6.2氨气测试使用的氮气应满足GB/T4844一2011中合格品的要求 6.3 氮气测试使用的氮气应满足GB/T38d！一208规定的技术指标要求测试程序 7.1 测试前准备 7.1.1真空机组,阀门、管路应按真空设计要求进行安装,并保持被测真空系统清洁,无多余物 7.1.2真空机组、阀门应工作正常 7.1.3质谱检漏仪工作正常,并按要求连接真空系统漏率测试装置 7.1.4真空标准漏孔与真空计应远离抽气口,靠近被测部位安装 7.2氨质谱法真空系统漏率测试 7.2.1检漏仪最小可检漏率测试 7.2.1.1测试装置测试装置由检漏仪、标准漏孔阀和真空标准漏孔组成,见图1 说明检漏仪; 标准漏孔阀真空标准漏孔图1检漏仪最小可检漏率测试装置示意图 7.2.1.2测试步骤测试步骤如下: a 启动检漏仪,待检漏仪正常工作后,关标准漏孔阀,记录检漏仪的本底值1; b 测最小可检信号值I,按GB/T18193中的方法进行; 开标准漏孔阀,记录检漏仪输出指示的稳定值1; d 检漏仪最小可检漏率按式(1)计算
GB/T32218一2015 Q. --Q mim 式中: 检漏仪最小可检漏率,单位为帕立方米每秒(Pam'/s) s Qmin 最小可检信号值,单位同检漏仪输出指示单位，如毫伏(mV)格或帕立方米每秒 Im1 Pam/s); 开标准漏孔阀后,检漏仪输出指示值,单位同检漏仪输出指示单位; I 本底值,单位同检漏仪输出指示单位; lo1 标准漏孔漏率标定值,单位同帕立方米每秒(Pam'/s) Q. 7.2.2氨罩法真空系统漏率测试 7.2.2.1测试装置测试装置由检漏仪、检漏阀,氮气源,氮罩,真空标准漏孔、标准漏孔阀,被检件(包含真空容器,真空规、高真空泵,前级阀和连接管道)等组成,见图2 检漏仪通过检漏阀连接在被检真空系统的高真空泵和前级阀之间,标准漏孔通过标准漏孔阀安装在被检真空系统上 He 12 说明检漏仪 -真空标准漏孔检漏阀标准谢孔阀氮气源; 累积阀氮罩高真空泵; 10 真空规; 1 前级阀被检件; 12 前级泵图2复罩法和累积法真空系统漏率测试装置示意图 7.2.2.2反应时间测试反应时间测试步骤如下 a)对测试装置抽真空; 启动检漏仪,使检漏仪处于检漏工作状态 b 开检漏阀,在保证检漏仪正常工作的前提下,尽量关小前级阀待检漏仪输出指示稳定后,记 c) 录检漏仪输出指示的本底值l;
GB/T32218一2015 d)开标准漏孔阀,当检漏仪输出指示稳定后,记录检漏仪输出指示值1m 标准漏孔引起检漏仪输出指示变化63%的值按式(2)计算 (2 I阳=0.63×(I-Ie 式中: -标准漏孔引起检漏仪输出指示变化63%的值,单位同检漏仪输出指示单位; IN I 开标准漏孔阀后检漏仪输出指示值,单位同检漏仪输出指示单位; -本底值,单位同检漏仪输出指示单位; ro2 关标准漏孔阀使检漏仪输出指示恢复至本底值Ie; f 开标准漏孔阀,同时记录时间,检漏仪输出指示上升至(I十1a)值时所需时间为反应时 g 间i; h)关标准漏孔阀 7.2.2.3有效最小可检漏率测试有效最小可检漏率测试步骤如下 a)保证测试装置工作状态不变,记录检漏仪输出指示的本底值la; b) 测最小可检信号值I2,按GB/T18193中的方法进行 e)开标准漏孔阀,当时间大于5，后,记录检漏仪的输出指示值1e; d)有效最小可检漏率按式(3)计算 Q1= -Q. 式中: 有效最小可检漏率,单位为帕立方米每秒(Pam/s); Qa 最小可检信号值,单位同检漏仪输出指示单位; 开标准漏孔阀后,检漏仪的输出指示值,单位同检漏仪输出指示单位本底值,单位同检漏仪输出指示单位 Q -标准漏孔漏率标定值,单位为帕立方米每秒(Pa m'/s). 注测得的Q.值应不大于被检件允许漏率的1/1o. 7.2.2.4漏率测试漏率测试步骤如下: a)用氨罩将被检件包覆并密封; b) 关标准漏孔阀,待检漏仪输出稳定后,记录检漏仪输出指示的本底值la; e向复罩内充人复气,使复气浓度为Y(当氨罩允许抽空时,可充人一个大气压的纯氮气),当施氨时间大于5T，时.记录检漏仪输出稳定值1i 当检漏仪输出指示的变化值(I一l)大于最小可检信号值l时,被检件的漏率按式(4) d 计算; -二x" Q 4 式中: 被检件漏率值,单位为帕立方米每秒(Pa m/s); Q 被检件漏孔在检漏仪上产生的输出指示值,单位同检漏仪输出指示单位; 本底值,单位同检漏仪输出指示单位 In 氢罩内复气浓度; r
GB/T32218一2015 当检漏仪输出指示的变化值(I一Ia)等于或小于最小可检信号值I时,被检件的漏率等于或小于Q 7.2.2.5有效最小可检漏率复测真空系统漏率测试结束后,应对漏率测试装置有效最小可检漏率进行复测,复测步骤如下按7.2.2.3复测有效最小可检漏率; a b)当复测的有效最小可检漏率值与原测试值相对偏差大于20%时,应调试漏率测试装置,重新按7.2.2进行测试 7.2.3喷吹法真空系统漏率测试 7.2.3.1测试装置测试装置由检漏仪.检漏阀、不带复室的通道型真空标准漏孔、标准漏孔阀、喷枪、复气源、被检件、真空规、高真空系,前级阀,前级泵和连接管道等组成,见图3 检漏仪通过检漏阀连接在高真空系和前级阀之间,标准漏孔通过标准漏孔阀安装在被检件合适位置上 He 说明: 检漏仪; 喷枪; 检漏阀: 复气源; 被检件; 高真空泵; 9 前级阀真空规 0- 11 -不带氮室的通道型真空标准漏孔; 前级泵标准漏孔阀图3喷吹法真空系统漏率测试装置示意图 7.2.3.2反应时间测试反应时间测试步骤如下 a)对测试装置抽真空; 启动检漏仪,使检漏仪处于检漏工作状态; b 开检漏阀,在保证检漏仪正常工作的前提下,尽量关小前级阀待检漏仪输出指示稳定后,记录检漏仪的本底值I;
GB/T32218一2015 d 开标准漏孔阀,用喷枪向真空标准漏孔进气端喷吹氨气,检漏仪输出指示稳定后,记录输出指示值1m; 标准漏孔引起检漏仪输出指示变化63%的值按式(5)计算 IR=0.63×Im2一Ios 5 式中: -标准漏孔引起检漏仪输出指示变化63%的值,单位同检漏仪输出指示单位; Ie 开标准漏孔阀后检漏仪输出指示值,单位同检漏仪输出指示单位; Im2 本底值,单位同检漏仪输出指示单位; Ios 吹除标准漏孔进气端的复气,关标准漏孔阀使检漏仪输出指示恢复至本底值I; 开标准漏孔阀，向标准漏孔进气端喷吹氮气,并同时记录时间,检漏仪输出指示上升至(Ie十 g I)值时所需的时间为反应时间a; h关标准漏孔阀 7.2.3.3有效最小可检漏率测试有效最小可检漏率测试步骤如下 a 保证测试装置工作状态不变,测试检漏仪本底值I b测最小可检信号值I,按GB/T18193中的方法进行; 开标准漏孔阀,向通道型真空标准漏孔进气端喷吹氮气,当时间大于5r 后,记录检漏仪的输 c 出指示值1; 有效最小可检漏率按式(6)计算 Q.e= -Q. 6 In6 式中: 有效最小可检漏率,单位为帕立方米每秒(Pam/s); Q. 最小可检信号值,单位同检漏仪输出指示单位; 开标准漏孔阀后,检漏仪的输出指示值,单位同检漏仪输出指示单位" -本底值,单位同检漏仪输出指示单位; 6 标准漏孔漏率标定值,单位为帕立方米每秒(Pa nm/s) Q. 注1测得的Q.值应小于被检件允许漏率的1/10. 注2:向通道型真空标准漏孔进气端喷吹复气时,喷枪离漏孔进气端的距离应小于6mm 7.2.3.4漏率测试漏率测试步骤如下 a)关标准漏孔阀,待检漏仪输出指示稳定后,记录检漏仪输出指示的本底值Im; b)从上到下用喷枪对被检件进行扫描喷氨检漏,喷枪与被检件的距离小于6mm,喷枪与被检面的夹角一般为90",喷枪移动的速度由反应时间T，确定; 当检漏仪输出指示有明显变化时,应用喷枪喷氮反复验证,确定出漏气部位后,在漏气部位喷氨(喷复时间大于5r),记录检漏仪输出指示的稳定值I.,并在漏气部位做出标记; d)当检漏仪输出指示的变化值(1一Im)大于最小可检信号值I 时,漏气部位的漏率按式(7 计算 I07 Q -Q 一l6
GB/T32218一2015 式中: Q 漏气部位漏率值,单位为帕立方米每秒(Pa”m'/s); 漏气部位漏孔引起的检漏仪输出指示值,单位同检漏仪输出指示单位; -本底值,单位同检漏仪输出指示单位; 当检漏仪输出指示的变化值(!一1)等于或小于最小可检信号值1时,漏气部位的漏率等于或小于Q 7.2.3.5有效最小可检漏率复测漏率测试结束后,应对漏率测试装置的有效最小可检漏率进行复测,复测步骤如下: a)按7.2.3.3复测有效最小可检漏率; b)当复测的有效最小可检漏率值与原测试值相对偏差大于20%时.应调试漏率测试装置,重新按7.2.3进行漏率测试 7.2.4真空累积法真空系统漏率测试 7.2.4.1测试装置漏率测试装置,见图2 7.2.4.2有效最小可检漏率测试 7.2.4.2.1最小可检气体量测试最小可检气体量测试步骤如下 a)对测试装置抽真空 b) 启动检漏仪,使检漏仪处于检漏工作状态; 开检漏阀,在保证检漏仪正常工作的前提下,尽量关小前级阀: 开累积阀,关标准漏孔阀,记录检漏仪输出指示的本底值1; 测最小可检信号值1.,按GB/T18193中的方法进行关累积阀,同时记录时间.累积t 时间后,开累积阀,记录检漏仪输出指示的最大值Is; 开标准漏孔阀,待检漏仪输出指示稳定后,记录检漏仪输出指示值I; g 关累积阀,同时记录时间,累积时间后,开累积阀,记录检漏仪输出指示的最大值Ie; h 注1:标准漏孔标定值Q.或值必须足够大,使(!-I,)-(I,-Ia)值大于10. 注2标准漏孔漏率Q.确定后 ,按照测试步骤7.2.4.2.1f)h)反复测试,当(I 一I一(1一I)值大于10l 时便可确定出t 值最小可检气体量按式(8)计算: 8 qmin一 Qto T=-- 式中: 最小可检气体量,单位为帕立方米(Pa”m). qmin 最小可检信号值,单位同检漏仪输出指示单位 1nt 开标准漏孔阀,累积时间后检漏仪输出指示的最大值,单位同检漏仪输出指示 I 单位开标准漏孔阀,开累积阀,检漏仪输出指示值,单位同检漏仪输出指示单位 I I -关标准漏孔阀,关累积阀,累积t 时间后,检漏仪输出指示的最大值,单位同检漏仪输出指示单位;
GB/T32218一2015 关标准漏孔阀,开累积阀情况下,检漏仪输出指示的本底值,单位同检漏仪输出指示 Ios 单位 -标准漏孔漏率标定值,单位为帕立方米每秒(Pa”m'/) 初始累积时间,单位为秒(s) 7.2.4.2.2最小累积时间确定能检测出被检件最大允许漏率Q时的最小累积时间按式(9)计算: Q.t0 tmia = 一1 式中: 最小累积时间,单位为秒(s); tmin 被检件最大允许漏率,单位为帕立方米每秒(Pa m=/s) 7.2.4.2.3有效最小可检漏率确定有效最小可检漏事Q.确定方法如下当累积时间为1a时,有效最小可检漏率Q.等于QA; a b 当累积时间为1(>'m)时,有效最小可检漏率按式(10)计算: Qlo Q = 丽式中 -有效最小可检漏率,单位为帕立方米每秒(Pa”m'/s) Q” 检测累积时间,单位为秒(s) 7.2.4.3漏率测试漏率测试步骤如下 a)用氨罩将被检件包覆并密封; b 检漏仪及测试装置工作状态保持不变,关标准漏孔阀,开累积阀,记录检漏仪输出指示的本底值1m; 关累积阀,累积t(>m)时间后开累积阀,记录检漏仪输出指示的最大值Ia; c d)开标准漏孔阀,记录检漏仪输出指示稳定值！, 关累积阀,累积时间后开累积阀,记录检漏仪输出指示的最大值I ; e) f 关标准漏孔阀,向复罩内充氨使复气浓度为Y.,稳定后,记录检漏仪输出指示值l,; g)关累积阀,累积时间后开累积阀,记录检漏仪输出指示的最大值In h)当检漏仪输出指示的变化值(I0一1.,)-(Il一l)大于最小可检信号值I时,被检件的漏率值按式(11)计算 [---aQ. (l1) Q [( -7;--I]7 式中: Q 被检件漏率值,单位为帕立方米每秒(Pa”m'/s); I 氮罩内充氮气后,关标准漏孔阀,累积1时间后检漏仪输出指示的最大值,单位同检漏仪输出指示单位; -氨罩内充氨气后,开累积阀,关标准漏孔阀,检漏仪输出指示的稳定值,单位同检漏仪输出指示单位;
GB/T32218一2015 氨罩未充复气时,关标准漏孔阀,累积！时间后检漏仪输出指示的最大值,单位同检漏仪输出指示单位; I -关标准漏孔阀,开累积阀,氨罩未充氨时检漏仪输出指示值,单位同检漏仪输出指示单位; -氨罩未充氨时,开标准漏孔阀,累积!时间后检漏仪输出指示的最大值,单位同检漏仪输出指示单位; 氮罩未充氮气时,开累积阀,开标准漏孔阀,检漏仪输出指示稳定值,单位同检漏仪输出指示单位氮罩内氮气浓度 -Im)等于或小于最小可检信号值I时,被检件当检漏仪输出指示的变化值(I0一I,)-(I 一的漏率等于或小于Q3 7.2.4.4有效最小可检漏率复测漏率测试结束后,应对测试装置有效最小可检漏率进行复剥,复测步骤如下按7.2.4.2复测有效最小可检漏率; a b)当复测的有效最小可检漏率值与原测试值相对偏差大于20%时,应调试测试装置,重新按 7.2.4进行漏率测试 7.3静态升压法真空系统漏率测试 7.3.1测试装置测试装置由测试阀、真空规、被检件、高真空泵、前级泵、前级阀及连接管道等组成,见图4 说明: 高真空泵; 测试阀真空规被检件; 前级阀; 前级泵图4静态升压法真空系统漏率测试装置示意图 7.3.2测试步骤测试步骤如下对被检件抽真空,必要时对被检件进行烘烤,以加快出气速率,迅速降低被检件的出气量,缩短抽气时间; 10o
GB/T32218一2015 b当被检件中的压力稳定后,记录该压力值a; 关测试阀,每隔一定时间间隔记录一次被检件中的压力户值和环境温度T值,并绘制压力随时间的变化曲线,见图5; n/Pa /s 图5压力随时间的变化曲线 d)找出压力随时间变化曲线的线性段,并在线性段上取两点A(i,p1,T)和B(ep,T;). 一t>300s,被检件漏率值按式(12)计算 l2 (12 -(，一" 式中: 被检件漏率值,单位为帕立方米每秒(Pa”m'/s): Q 被检件的容积,单位为立方米(m); 点时间值,单位为秒(s) A点时间值,单位为秒(s); A点温度,单位为开(K) B点温度,单位为开(K); B点压力值,单位为帕(Pa); b A点压力值,单位为(Pm们 p 漏率测试中断处理 8.1氨质谱漏率测试的中断处理漏率测试中断后应重新按7.2进行测试 8.2静态升压法漏率测试的中断处理漏率测试中断后应重新按7.3进行测试测试记录与报告测试记录测试记录一般应包括如下内容: 测试日期和测试时间; a 11
GB/T32218一2015 b被检件的名称,图号、序号; 测试方法及有效最小可检漏率,复测的有效最小可检漏率; c d)氨质谱检漏仪;产品名称、型号规格、产品编号等信息; 标准漏孔:名称,型号,编号、标定值及有效期等信息; f 其他重要测试设备与仪器的信息; 测试环境条件(大气压力,环境温度和湿度); h)测试用示漏气体的纯度及浓度; 测试过程中各测试参数的测量值; 测试人员 9.2 测试报告测试报告一般应包括如下内容测试日期 a) 被检件的名称、图号,序号 b 所用仪器设备的名称,编号、标定值及有效期等信息; c d测试结果和结论 e)测试人员，审核、签发或批准信息 f 12
GB/T32218一2015 参考文献 1]GB/T9445一2008无损检测人员技术资格鉴定与认证 2]GB/T126o4.7一1993无损检测技术术语泄渊检谢 [3 GB/T13979一2008质谱检漏仪打GB/T13823一19复谁拥检验 [ GB/T18193真空技术质谱检漏仪校准 [ GB/T18443.3一2001低温绝热压力容器试验方法漏率测量口" Q31232000氨质谱真空检漏方法 [8]J!sZ231一2w复检漏方法 [叮 ASTMD4991-07 rigidcontainersby Standardtestmethodforleakagetestingofempty vacuummethod [10 ASTME4982006Standardtestmethodsforleaksusingthemassspectrometerleak detectororresidual analyzerinthetracerprobemode gas [11]ASTME16032006Standardtestmethodsforleakagemeasurementusingthemass spectrometerleakdetectororresidualgasanalyzerinthehoodmode

真空技术真空系统漏率测试方法GB/T32218-2015

真空技术是现代工业制造过程中不可或缺的一项技术。在真空环境下，许多物质的化学和物理性质都会发生变化，因此真空技术在材料科学、航空航天、电子工业、光学等领域有着广泛的应用。

而在真空技术中，一个重要的问题是如何保持低压力的真空环境。随着实验条件的复杂化和精度要求的提高，对真空系统的漏率要求也越来越高。因此必须采取合适的漏率测试方法来确保真空系统的质量。

GB/T32218-2015是我国发布的针对真空技术中漏率测试的标准。该标准规定了漏率测试方法的原理、测试装置、测试步骤等内容。下面我们就来详细介绍一下这个标准。

1. 漏率测试方法的原理

漏率测试方法的原理是在真空系统内部制造一定的气压差，然后测量气压差下真空系统内部的气体流量或压力变化，从而计算出漏率。实际上，漏率测试可以分为三个步骤：真空泵站的抽真空、阀门的关闭、以及真空室的充气。

2. 测试装置

为了进行漏率测试，需要使用特殊的测试装置。测试装置通常由一个真空泵和一个漏率测试仪器组成。真空泵主要用于抽真空，而漏率测试仪则用于测量气体流量或者压力变化。在测试过程中，首先需要保证真空系统内部处于足够的真空状态，即达到测试时所需的工作压力。

3. 测试步骤

漏率测试的步骤有以下几个：

关闭系统所有出口和进口阀门，并且封住检测管道上的小孔。
开启真空泵开始抽真空，直到系统内部气压升高到一个固定值（该值通常约为10-100 Pa）。
关闭真空泵，记录系统内部气压变化的时间和数值，并根据漏率测试仪器的要求进行数据处理。

4. 结论

通过对GB/T32218-2015标准的介绍，我们可以了解到如何进行真空技术中的漏率测试。漏率测试是真空技术中非常重要的环节，能够保证系统的质量和性能。在实际应用中，需要根据实际情况选择不同的测试方法和测试装置，以确保测试的准确、可靠和高效。